อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความสะอาด ความต้านทานการกัดกร่อน และความเสถียรที่สูงมากจากวัสดุส่วนประกอบ และส่วนประกอบโครงสร้างเซรามิกก็ตอบสนองความต้องการเหล่านี้ได้อย่างสมบูรณ์แบบ ทำให้กลายเป็นส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
ในระหว่างการผลิตแผ่นเวเฟอร์ สภาพแวดล้อมภายในของอุปกรณ์มักต้องเผชิญกับอุณหภูมิสูง สุญญากาศสูง และการกัดกร่อนที่รุนแรง วัสดุโลหะแบบดั้งเดิมสามารถสึกกร่อนหรือปล่อยสิ่งเจือปนได้ง่าย ในขณะที่ส่วนประกอบโครงสร้างเซรามิกมีเสถียรภาพทางเคมีที่ดีเยี่ยมและมีลักษณะการไหลของอนุภาคต่ำ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาดอย่างมีประสิทธิภาพ
ชิ้นส่วนเซรามิกเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไป ได้แก่ หัวจับเซรามิก เครื่องทำความร้อนเซรามิก วงแหวนฉนวน หัวฉีด และส่วนประกอบนำทาง ในบรรดาสิ่งเหล่านี้ หัวจับไฟฟ้าสถิตใช้คุณสมบัติการเป็นฉนวนที่ดีเยี่ยมของวัสดุเซรามิกเพื่อยึดแผ่นเวเฟอร์ และเป็นหนึ่งในองค์ประกอบหลักของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
เนื่องจากกระบวนการผลิตชิปยังคงก้าวหน้าไปสู่ระดับที่สูงขึ้น ข้อกำหนดด้านความแม่นยำสำหรับอุปกรณ์จึงมีความเข้มงวดมากขึ้น วัสดุเซรามิกขั้นสูงที่มีความคงตัวของขนาดและความต้านทานต่อการกัดกร่อนของพลาสมา จะมีบทบาทสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ในอนาคต